华东光电集成器件研究所：
你单位报批的《xxmoems研制保障条件建设项目环境影响报告表》（以下简称《报告表》）收悉。根据有关法律法规并结合专家技术评审意见，经研究，现提出如下审批意见：
一、原则同意《报告表》结论。项目位于安徽省蚌埠市汤和路2016号，利用现有101、102号厂房预留区，依托现有《核心器件产业基地项目》中mems器件生产线的生产设备，通过新增生产设备，改建形成健全的moems器件研制能力和小批量生产能力。改建前的年产5亿只mems器件产能将减少1亿只，改建后新增年产1mm、5mm、8mm镜面双谐振moems扫描微镜各3000只，年产moems滤光模块1000只产能。在严格落实《报告表》提出的各项环保措施的前提下，各类污染物可实现达标排放，我局原则同意《报告表》中所列建设项目的性质、规模、工艺、地点和拟采取的环境保护措施。
二、项目应重点做好以下工作：
（一）严格落实《报告表》中提出的大气污染防治措施，项目各类废气处理依托现有废气处理设施。项目蚀刻、清洗过程使用硫酸、盐酸、氨水等产生的酸碱废气经各产生工序分别收集后，分别经碱液/酸液喷淋吸收处理后，由排气筒da006排放；项目清洗工序使用乙醇、丙酮等挥发产生有机废气和光刻、腐蚀、刻蚀等工序使用光刻胶挥发产生的有机废气，经各工序收集后通过“二级活性炭”吸附处理后，由排气筒da007排放；项目金属沉积和刻蚀等工序产生有毒废气（主要为氟化物），经生产设备自带的pou净化装置处理后，再经碱液喷淋吸收塔进一步处理后，由排气筒da006排放。项目产生的氟化物、氯化氢、硫酸雾、vocs有组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（gb16297-1996）表2中二级标准，氟化物、氯化氢、硫酸雾无组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（gb16297-1996）表2中无组织排放监控浓度限值要求；氨有组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（gb14554-93）表2中排放限值的要求，氨无组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（gb 14554-1993）表1中二级新扩改建标准要求；vocs无组织排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（gb37822—2019）表a.1无组织排放限值要求。
（二）严格落实《报告表》中提出的废水污染防治措施，项目各类废水处理依托厂区现有和在建污水处理设施。项目废水主要为酸碱废水、含氟含磷废水、有机废水、废气洗涤塔废水、纯水系统浓废水，循环冷却排水和生活污水。酸碱废水调节后进入中和处理系统处理；含氟含磷废水经含氟含磷废水处理系统处理后，再进入中和处理系统处理；有机废水桶装收集后，排入中和处理系统处理；废气洗涤塔废水汇入含氟含磷废水处理系统一并处理；纯水系统浓废水、循环冷却水废水直接排入厂区污水管网，经污水总排口进入市政管网；生活污水经化粪池处理后排入市政管网。项目废水排放取严执行蚌埠市第二污水处理厂接管标准及《半导体行业水污染物排放标准》（db34/4294-2022）表2中水污染物间接排放限值。
（三）做好项目环境噪声污染防治工作。项目噪声主要为各种生产设备、生产车间的通风设备、污水处理站的鼓风机和各类泵等产生的噪声。通过采取减振、降噪、柔性连接、车间配套安装隔声门窗减等措施，减少对周边环境的影响。项目北侧、南侧、东侧及周边敏感点执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(gb12348-2008)1类标准，西侧执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（gb12348-2008）4a类标准。
（四）按照《报告表》要求，强化危险废物产生、收集、贮运等环节的管理，做到危废分类存放，规范设置相关标识、管理台账，落实防渗漏、防扩散等措施。项目固废主要为废金粉末、废钛粉末、污水处理站污泥等。废金粉末、废钛粉末收集后由厂家回收使用；污水处理站污泥定期交由处置单位清运；光刻胶废液、废刻蚀废液、废显影液、废酸、废乙醇丙酮混合液、废异丙醇、废活性炭等危险废物，分类收集后存放在相应的专用储罐或专用容器中，与废活性炭暂存于危废暂存间内，定期交由有资质单位处置。项目一般固体废弃物执行《安徽省实施<中华人民共和国固体废物污染环境防治法>;办法》相关要求，危险废物执行《危险废物贮存污染控制标准》（gb18597-2023）要求。
（五）认真落实《报告表》中提出的地下水、土壤污染防治措施。严格落实分区防渗措施，按照《报告表》中关于地下水、土壤分区防渗的设计要求，做好生产区、化学品库、危废暂存库、污水处理站等重点防渗区域的运行管理工作，确保不发生渗漏现象。
（六）在项目运营期间，应建立畅通的公众参与平台，加强宣传与沟通工作，及时解决公众担忧的环境问题，满足公众合理的环境诉求。按照《企业环境信息依法披露管理办法》有关要求，做好企业环境信息公开工作，主动接受社会监督。
（七）建立健全企业内部环境管理机制，制定完善的环保规章制度，建立完整的企业环境管理体系。强化固定污染源和无组织排放源管理，制定自行监测方案，落实环境管理与监测计划，按规定开展自行监测和信息公开。
三、加强环境风险防控。按报告表要求落实危险化学品事故废水和地下水风险防范相关措施。加强危险化学品、危险废物贮存、转运等全过程管控，做好生产过程环保设施与风险防范设施的运行管理和维护；加强事故废水收集处理，强化现有应急事故池日常管理；制定和完善突发事件环境风险应急预案，按规定报生态环境主管部门备案，定期开展应急培训和演练，提高环境风险事故预防和应急处理能力。
四、做好环境影响评价制度与排污许可制衔接相关工作。根据《排污许可管理条例》、《固定污染源排污许可分类管理名录（2019年版）》等环保法律法规要求，在项目发生实际排污行为之前，你单位应当按照要求完善排污许可手续，不得无证排污或不按证排污。
五、项目实施中应严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。项目竣工后，你单位应按照《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》以及国务院生态环境行政主管部门规定的标准和程序，及时开展建设项目竣工环境保护验收工作。
六、《报告表》批准后，若建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，你单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。
七、请蚌埠市经济开发区生态环境保护综合行政执法大队负责该项目的监督检查和日常环境管理工作，确保项目按《报告表》及批复要求设计、施工和投入使用。
（企业统一社会信用代码：12100000485220457j）
2023年9月8日
